Diapositives de nettoyage avec plasma

[Ben Krasnow] a piraté une méthode de nettoyage des côtés à l’aide de plasma. Sa configuration utilise une pompe à vide mécanique pour évacuer un pot de cloche. Ce pot de cloche est enveloppé d’une bobine de cuivre, qui est connectée à un émetteur RF. En transmettant RF dans la bobine, le plasma est créé à l’intérieur du pot de cloche.

Le nettoyage à plasma est largement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs. Selon le gaz utilisé, il peut avoir des effets de nettoyage différents. Par exemple, un environnement riche en oxygène est très efficace pour briser les liaisons organiques et éliminer les hydrocarbures. Il est utilisé après le nettoyage manuel pour garantir que toutes les impuretés des solvants utilisés pour le nettoyage sont complètement éliminées. Selon [BEN], il est possible d’obtenir une surface de nettoyer atomiquement à l’aide de ce processus et d’enlever même le substrat si les niveaux d’énergie sont trop élevés.

Ces machines sont généralement chères et spécialisées, mais [Ben] a réussi à cuisiner un sur son banc. Après la pause, consultez une promenade vidéo de [Ben] ‘S Plasma Nettoyant